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等離子去膠機(jī)采用怎樣的工藝流程,其軟件有什么優(yōu)勢(shì)?

更新時(shí)間:2024-11-26  |  點(diǎn)擊率:1258
  等離子去膠和等離子清洗機(jī)是專門(mén)設(shè)計(jì)用來(lái)滿足晶圓批處理或單晶片處理,具有廣泛應(yīng)用,從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制,可以配套不同的等離子源,加熱或不加熱基片夾具,可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說(shuō)可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。
 
  等離子去膠機(jī)基本工藝流程:
  1、將圓片從片盒內(nèi)取出,放置到工藝腔內(nèi),執(zhí)行所選定的工藝文件完成去膠,將圓片放到冷卻臺(tái)上(如有需要),最后將圓片送回片盒。為了獲得更高的產(chǎn)量,可以使用熱絕緣的Teflon片盒,從而省略冷卻臺(tái)的步驟。
  2、機(jī)械手可以在3個(gè)軸向上運(yùn)動(dòng)。機(jī)械手的末端器帶有真空,用于在移動(dòng)過(guò)程中吸住圓片。
  3、圓進(jìn)入工藝腔體后,3根藍(lán)寶石桿會(huì)從圓片邊緣將圓片托住。
  4、工藝腔的腔壁內(nèi)裝有12個(gè)用于腔體加熱加熱器。圓片放入腔體后,由腔體底部的8個(gè)鹵素?zé)襞輰A片加熱到工藝溫度。
  5、O2和少量的N2混合后送入微波導(dǎo)管內(nèi)的石英等離子體管。由磁控管生成的微波能量激發(fā)混合氣體生成等離子體,將O2和N2分子解離成O原子和N原子。活性粒子順流而下,通過(guò)配氣室被帶出源頭區(qū)域。能夠?qū)A片造成損傷的高能活性粒子,在通過(guò)3層分氣盤(pán)的過(guò)程中發(fā)生氣相復(fù)合而被消除。能夠氧化光刻膠的低能量自由基和中性粒子,則被送到圓片表面,完成去膠。
  6、去膠工藝的終點(diǎn),可以通過(guò)檢測(cè)工藝過(guò)程中等離子體輝光的變化速率來(lái)確定。在去膠工藝結(jié)束時(shí),鹵素?zé)襞蓐P(guān)閉,微波源關(guān)閉(繼而輝光消失),工藝氣體關(guān)閉。
  7、隨后腔體內(nèi)通入氮?dú)膺M(jìn)行吹掃,然后通氣到達(dá)大氣壓以便將圓片取出。圓片從腔體內(nèi)取出后會(huì)被送到冷卻臺(tái)。冷卻臺(tái)是一個(gè)通水冷卻的平臺(tái)。圓片冷卻后將送回片盒內(nèi)原來(lái)的槽位。
 
  等離子去膠機(jī)軟件具有以下特點(diǎn):
  1、使用菜單界面可以很簡(jiǎn)便地進(jìn)行工藝循環(huán)的設(shè)定和執(zhí)行。
  2、故障處理功能使工程師和服務(wù)人員能夠單獨(dú)觸發(fā)各個(gè)子系統(tǒng)。
  3、控制軟件可以在所有帶有并口的奔騰系列的電腦上運(yùn)行。電腦與設(shè)備之間只通過(guò)一根接口電纜進(jìn)行對(duì)接。
  4、可在控制軟件內(nèi)對(duì)所有子系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)。這有利于更快捷、更簡(jiǎn)單地進(jìn)行校準(zhǔn),進(jìn)而提升工藝結(jié)果。
  5、工藝文件創(chuàng)建。該功能來(lái)自工藝文件編輯器,可以創(chuàng)建、編輯工藝文件,以實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝腔體內(nèi)的晶圓進(jìn)行全自動(dòng)工藝流程控制。
  6、工藝文件確認(rèn),可以顯示出控制流程中的錯(cuò)誤。
  7、可以存儲(chǔ)多個(gè)工藝文件、工藝數(shù)據(jù)和校準(zhǔn)文件,方便以后對(duì)工藝和校準(zhǔn)結(jié)果進(jìn)行對(duì)比和維護(hù)。
  8、可以通過(guò)設(shè)置密碼保護(hù)系統(tǒng)、工藝文件編輯、診斷、校準(zhǔn)和功能設(shè)置的安全性。
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